ximia.org - сайт о химии для химиков
РАЗДЕЛЫ САЙТА
Разная химия
Неорганическая
Органическая
Биологическая
Наглядная биохимия
Токсикологическая

База знаний
Химическая энциклопедия
Справочник по веществам
Таблица Д.И. Менделеева
Гетероциклические соед.
Теплотехника
Углеводы

Партнёры по химии
Всё об Алхимии

Химия в жизни
Каталог предприятий

Дополнительно
Лекарственные средства Фармацевтический справ.
 
Всё о Химии - Ximia.org

ПОЛИРОВАНИЕ


Алфавитный указатель: А Б В Г Д Е Ж З И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Э Ю Я


ПОЛИРОВАНИЕ (от лат. polio-делаю гладким), чистовая обработка пов-сти разл. материалов для уменьшения ее шероховатости (высоты микронеровностей) до величины менее 0,1 мкм, создания определенных св-в (высокого коэф. отражения, декоративного блеска), очистки от загрязнений, получения точных размеров изделия и ненарушенной структуры приповерхностного слоя материала. П. осуществляют: локальным срезанием тончайших слоев материала абразивными зернами, закрепленными в полировальнике или эластичной ленте (механическое П.); растворением в полирующих травителях (химическое П.); совместным хим. и мех. воздействием на обрабатываемую пов-сть спец. суспензий (химико-механическое П., используется при обработке полупроводниковых и нек-рых др. материалов); электролитич. травлением (электрохимическое П.); хим. р-циями с газовыми травителями (газовое химическое П.).

Механическое П. используют в машино- и приборостроении для обработки деталей из металлов, сплавов, оптич. стекла, пластмасс, в микроэлектронике для обработки заготовок из полупроводниковых и диэлектрич. материалов и материалов подложек. Плоские заготовки наклеивают на планшайбы и затем устанавливают на приводимый во вращение полировальник-диск, покрытый тканым (сукно, батист, сатин) или нетканым (искусств. кожа, замша, полиуретан) материалом. Он должен иметь высокую износо-и теплостойкость и обеспечивать закрепление абразивных зерен в своих порах или ворсе. На полировальник наносят абразивную суспензию, приготовленную на основе порошков алмаза, карбидов В4С и SiC, корунда А12О3, оксидов Fe2O3, CeO2 и Сr2О3 с размером зерен от 0,2 до 5 мкм. При механическом П. деталей круглой или сложной формы применяют цилиндрич. полировальники или эластичные ленты.

Химическое П. осуществляют во вращающейся вокруг своей оси заполненной травителем емкости, в к-рую загружают одну или неск. заготовок, а также др. способами.

Химико-механическое П. проводят так же, как механическое П., но суспензии приготовляют на основе порошков SiO2 и ZrO2, взвешенных в р-рах щелочей. Щелочи с обрабатываемым материалом образуют соед. с меньшей твердостью, чем сам материал, к-рые удаляются при контакте с полировальником и абразивными зернами.

Электрохимическое П. проводят в ваннах с р-рами щелочей, к-т и солей, пропуская электрич. ток через анод-заготовку и электролит.

Газовое химическое П. используют для удаления с пов-сти кремниевых пластин загрязнений и слоя материала с нарушенной структурой. В реактор подают галогенсодер-жащие газы, напр. НС1, и в результате р-ции Si + 4HC1 : : SiCl4 + 2 при т-ре ок. 1200°С происходит травление кремния. См. также Полироли, Травление.

С. Н. Никифорова-Денисова.


===
Исп. литература для статьи «ПОЛИРОВАНИЕ»: нет данных

Страница «ПОЛИРОВАНИЕ» подготовлена по материалам химической энциклопедии.

 

Всё о Химии для учеников, учителей, студентов и просто химиков